Портал | Содержание | О нас | Пишите | Новости | Голосование | Топ-лист | Дискуссия Rambler's Top100

TopList Яндекс цитирования

НОВОСТИ
"РУССКОГО ПЕРЕПЛЕТА"

ЛИТЕРАТУРА

Новости русской культуры

Афиша

К читателю

Содержание

Публицистика

"Курск"

Кавказ

Балканы

Проза

Поэзия

Драматургия

Искания и размышления

Критика

Сомнения и споры

Новые книги

У нас в гостях

Издательство

Книжная лавка

Журнальный зал

ОБОЗРЕНИЯ

"Классики и современники"

"Слово о..."

"Тайная история творений"

"Книга писем"

"Кошачий ящик"

"Золотые прииски"

"Сердитые стрелы"

КУЛЬТУРА

Афиша

Новые передвжиники

Фотогалерея

Музыка

"Неизвестные" музеи

Риторика

Русские храмы и монастыри

Видеоархив

ФИЛОСОФИЯ

Современная русская мысль

Искания и размышления

ИСТОРИЯ

История России

История в МГУ

Слово о полку Игореве

Хронология и парахронология

Астрономия и Хронология

Альмагест

Запечатленная Россия

Сталиниана

ФОРУМЫ

Дискуссионный клуб

Научный форум

Форум "Русская идея"

Форум "Курск"

Исторический форум

Детский форум

КЛУБЫ

Пятничные вечера

Клуб любителей творчества Достоевского

Клуб любителей творчества Гайто Газданова

Энциклопедия Андрея Платонова

Мастерская перевода

КОНКУРСЫ

За вклад в русскую культуру публикациями в Интернете

Литературный конкурс

Читательский конкурс

Илья-Премия

ДЕТЯМ

Электронные пампасы

Фантастика

Форум

АРХИВ

Текущий

2003

2002

2001

2000

1999

Фотоархив

Все фотоматериалы


Новости
"Русский переплет" зарегистрирован как СМИ. Свидетельство о регистрации в Министерстве печати РФ: Эл. #77-4362 от
5 февраля 2001 года. При полном или частичном использовании
материалов ссылка на www.pereplet.ru обязательна.

Тип запроса: "И" "Или"

14.03.2002
13:01

От "зоны смерти" к "полосе биоразнообразия"

14.03.2002
12:58

Контроль физиологических функций при стрессе

14.03.2002
12:57

Отчего исчезают земноводные

14.03.2002
12:55

Новая система исследования земной магнитосферы

14.03.2002
12:54

Созвездия во времена древних минойцев

14.03.2002
12:26

Астрономы установили и затем скорректировали цвет Вселенной

14.03.2002
12:21

Даже звёзды пользуются солнцезащитным кремом

14.03.2002
12:13

Обнаружено послесвечение от коротких гамма-вспышек

14.03.2002
12:07

Обнаружено послесвечение от коротких гамма-вспышек

14.03.2002
12:03

Список звёзд, у которых могут быть планеты, можно сократить

14.03.2002
11:59

Два открытия в далёком квазаре

14.03.2002
11:50

Конференции

14.03.2002
11:49

Конференции

14.03.2002
11:40

Квантовый компьютер разложил число 15 на множители

14.03.2002
11:39

Водород в MoS2-нанотрубках

14.03.2002
11:37

Разработка ВТСП магнитов в Японии

14.03.2002
11:33

Перспективный материал для ночных прицелов - моносульфид редких земель

14.03.2002
11:32

Матрица наноотверстий на кремнии

    При разработке СБИС с размерами деталей в диапазоне менее 100нм большое внимание привлекают методы самоорганизации. Сотрудники из университета Хиросимы научились получать упорядоченно нанопористую пленку окиси алюминия на подложке кремния и решили следующую задачу - перенос в кремний матрицы нанопор с плотностью ~1010см-2 методом реактивного ионного травления.

    Далее представлены технологические этапы.

    На подложку кремния со слоем SiO2 толщиной 10нм катодным распылением наносится слой чистого алюминия (99.999%). Отмечено, что упорядоченность структуры нанопор улучшается в процессе окисления, поэтому исходная толщина алюминия составляла 20мкм. Проводится первый этап анодного окисления при концентрации щавелевой кислоты 0.15M/л, напряжении 40В и температуре 3°С до остаточной толщины Al 1000нм. Затем вся пористая окись алюминия удаляется в смеси жидких кислот HF и H3PO4. Поверхность оставшегося алюминия имеет упорядоченную шероховатость в виде донной оконечности микропор. Поэтому второй этап окисления оставшейся пленки Al происходит с хорошей самоорганизацией системы микропор до упора в SiO2. Диаметр нанопор 25нм с расстоянием меж ними 90нм.

    Для успеха последующего сухого травления поперечник пор немного увеличивали травлением в разбавленной фосфорной кислоте (~до 36нм), так что стенки из окиси алюминия между порами и на дне имеют толщину 50нм и 30нм, соответственно, а аспектное соотношение в геометрии пор составляет 2-5. На рисунке схематически показан вид подложки перед реактивным ионным травлением в плазме хлора. В матрице каждый ряд пор смещен относительно соседей на полпериода. Слои Al2O3 и SiO2 на дне удаляются ВЧ-плазменным травлением в хлоре. Затем 5 мин травится кремний при постоянном смещении более -400В и 30мТорр хлора. При толщинах Al2O3 200, 150, 130 и 50нм образуются нанопоры с аспектным отношением 5, 3.8, 3.2 и 1.3, соответственно. После удаления Al2O3 на дне пор кремний травится быстро. Отмечено, что с увеличением аспектного отношения (АО= 1, 2, 3) наблюдается уменьшение видимого диаметра поры d=30, 20 и 13нм (при исходном диаметре 45нм). Такое поведение объясняется тем, что при высоком потенциале (около -530В) вместе с химическим травлением происходит физическое распыление. При травлении Al2O3 в хлорной плазме образуются нелетучие соединения AlClx и AlOx. В порах с большим аспектным отношением выход этого потока затруднен, и они успевают осесть на стенках, сужая пору.

    Предполагается, что система наноотверстий в кремнии может служить формой для осаждения системы полевых эмиттеров из алмаза или вольфрама с высокой плотностью расположения.

    J. Vac. Sci. Technol. B, 2001, 19(5), pp.1901-1904


    PERST

    add red. lenty

Выскажите свое мнение на:

14.03.2002
11:29

Контакты решают все

14.03.2002
11:25

Полосатые квантовые нанопроволоки

<< 2151|2152|2153|2154|2155|2156|2157|2158|2159|2160 >>

НАУКА

Новости

Научный форум

Почему молчит Вселенная?

Парниковая катастрофа

Хронология и парахронология

История и астрономия

Альмагест

Наука и культура

2000-2002
Научно-популярный журнал Урания в русском переплете
(1999-200)

Космические новости

Энциклопедия космонавтика

Энциклопедия "Естествознание"

Журнальный зал

Физматлит

News of Russian Science and Technology

Научные семинары

НАУЧНЫЕ ОБОЗРЕНИЯ

"Физические явления на небесах"

"TERRA & Comp"

"Неизбежность странного микромира"

"Биология и жизнь"

ОБРАЗОВАНИЕ

Открытое письмо министру образования

Антиреформа

Соросовский образовательный журнал

Биология

Науки о Земле

Математика и Механика

Технология

Физика

Химия

Русская литература

Научная лаборатория школьников

КОНКУРСЫ

Лучшие молодые
ученые России

Для молодых биологов

БИБЛИОТЕКИ

Библиотека Хроноса

Научпоп

РАДИО

Читают и поют авторы РП

ОТДЫХ

Музеи

Игры

Песни русского застолья

Народное

Смешное

О НАС

Редколлегия

Авторам

О журнале

Как читать журнал

Пишут о нас

Тираж

РЕСУРСЫ

Поиск

Проекты

Посещаемость

Журналы

Русские писатели и поэты

Избранное

Библиотеки

Фотоархив

ИНТЕРНЕТ

Топ-лист "Русского переплета"

Баннерная сеть

Наши баннеры

НОВОСТИ

Все

Новости русской культуры

Новости науки

Космические новости

Афиша

The best of Russian Science and Technology

 

 


Если Вы хотите стать нашим корреспондентом напишите lipunov@sai.msu.ru

 

Редколлегия | О журнале | Авторам | Архив | Ссылки | Статистика | Дискуссия

Галерея "Новые Передвижники"
Пишите

© 1999, 2000 "Русский переплет"
Дизайн - Алексей Комаров

Русский Переплет
Rambler's Top100 TopList