Портал | Содержание | О нас | Пишите | Новости | Голосование | Топ-лист | Дискуссия Rambler's Top100

TopList Яндекс цитирования

НОВОСТИ
"РУССКОГО ПЕРЕПЛЕТА"

ЛИТЕРАТУРА

Новости русской культуры

Афиша

К читателю

Содержание

Публицистика

"Курск"

Кавказ

Балканы

Проза

Поэзия

Драматургия

Искания и размышления

Критика

Сомнения и споры

Новые книги

У нас в гостях

Издательство

Книжная лавка

Журнальный зал

ОБОЗРЕНИЯ

"Классики и современники"

"Слово о..."

"Тайная история творений"

"Книга писем"

"Кошачий ящик"

"Золотые прииски"

"Сердитые стрелы"

КУЛЬТУРА

Афиша

Новые передвжиники

Фотогалерея

Музыка

"Неизвестные" музеи

Риторика

Русские храмы и монастыри

Видеоархив

ФИЛОСОФИЯ

Современная русская мысль

Искания и размышления

ИСТОРИЯ

История России

История в МГУ

Слово о полку Игореве

Хронология и парахронология

Астрономия и Хронология

Альмагест

Запечатленная Россия

Сталиниана

ФОРУМЫ

Дискуссионный клуб

Научный форум

Форум "Русская идея"

Форум "Курск"

Исторический форум

Детский форум

КЛУБЫ

Пятничные вечера

Клуб любителей творчества Достоевского

Клуб любителей творчества Гайто Газданова

Энциклопедия Андрея Платонова

Мастерская перевода

КОНКУРСЫ

За вклад в русскую культуру публикациями в Интернете

Литературный конкурс

Читательский конкурс

Илья-Премия

ДЕТЯМ

Электронные пампасы

Фантастика

Форум

АРХИВ

Текущий

2003

2002

2001

2000

1999

Фотоархив

Все фотоматериалы


Новости
"Русский переплет" зарегистрирован как СМИ. Свидетельство о регистрации в Министерстве печати РФ: Эл. #77-4362 от
5 февраля 2001 года. При полном или частичном использовании
материалов ссылка на www.pereplet.ru обязательна.

Тип запроса: "И" "Или"

21.05.2002
14:10

Сегодня День рождения Андрея Дмитриевича Сахарова (1921-1989)

21.05.2002
12:57

Шоу воздушных акробатов в музее-заповеднике Коломенское

21.05.2002
12:49

Первые китайские космонавты будут маленькими

21.05.2002
12:48

"Экспресс-АР" доставлен на Байконур

21.05.2002
12:48

До стартов "Союзов" из Куру еще далеко

21.05.2002
12:47

Семинар по визуальной антропологии состоится 23 мая в Институте Наследия

21.05.2002
12:47

По заказу "СЕС Америкон" начато изготовление двух спутников

21.05.2002
01:51

На МКС произошел очередной сбой

21.05.2002
01:50

В интернете уже продают билеты в космос

21.05.2002
01:48

В погоне за "Х-призом"

21.05.2002
01:46

Космический календарь. 21 мая

20.05.2002
23:47

Обнаружен богатейший риф на свете

20.05.2002
22:58

Создан паровой реактивный двигатель

20.05.2002
16:49

Василий Дворцов в галерее "Новые передвижники"

20.05.2002
16:17

Китайцы полетят на Луну, но не так скоро, как сообщают журналисты

20.05.2002
16:16

Орбиту МКС вновь пришлось скорректировать

20.05.2002
12:37

Яков Иванов "Смена приоритетов"

20.05.2002
11:03

MRS 2002 Spring Meeting сосредоточилась на новых диэлектриках для микроэлектронного производства

20.05.2002
11:02

Все лгуны краснеют. Некоторые - только в ИК диапазоне

20.05.2002
11:01

Первый низковольтный малошумящий дифференциальный кремниевый микрофон

    Рис. 1. Микрофотография 1х1мм2 дифференциального микрофона

    Микрофоны широко используются в голосовой связи, слуховых аппаратах, приборах разведки, для контроля шума и вибраций. Ведутся интенсивные исследования по изготовлению микрофонов на кремниевых подложках с использованием стандартных технологических процессов, позволяющих снизить стоимость устройств при повышенной чувствительности и низком уровне шумов, а также интегрировать на том же чипе миниатюрные ВЧ антенны и фильтры [1].

    Сотрудники фирмы Microtronic A/S (Дания) разработали конденсаторный микрофон с двумя симметричными относительно мембраны обкладками [2]. Этот принцип дает удвоение сигнала просто за счет работы двух обкладок вместо одной, а кроме того поле смещения может быть на 30% выше, так как электростатическая сила действует на мембрану с двух сторон и держит ее в нулевом положении. Преимущества также - в большей чувствительности, широком линейном динамическом диапазоне и полосе частот.

    Пробный набор мембран с разным числом слоев и знаком внутренних напряжений позволил выбрать оптимальную комбинацию с суммарными напряжениями ~45МПа, состоящую из 0.4мкм поли-Si:B++ и двух слоев Si3N4 с полной толщиной 900?.

    wpeF.jpg (9072 bytes)

    Рис.2. СЭМ изображение вертикальных отверстий в мемебране

    Представлен технологический маршрут обработки пластин при формировании микрофонов с размерами мембран 2х2 и 1х1мм2 . Для уменьшения паразитной емкости мембрана подвешивается на мостиках, по 8шт. на каждой стороне (рис.1). Фрагмент микрофона показан на (рис.2). Оценка работоспособности микрофонов проводилась прямо на пластине с помощью зондов со встроенным малошумящим буферным усилителем. Полная чувствительность микрофона 2х2мм2 при питании 1.5В и 1кГц составила 13мВ/Па и полоса в 3дБ сохранялась до20кГц (рис.3). Измерения проведены отдельно для каждой обкладки, и, как видно на рис.3, нижняя обкладка дает вдвое меньший вклад в сравнении с верхней из-за различия паразитных емкостей, не работающих на полезный сигнал (63% и 17%). Получено также хорошее совпадение с моделированием. В шумовом спектре (рис.3) при низких частотах наблюдали акустические шумы из окружения и до нескольких кГц - наложение пиков высшего порядка от 50Гц сигнала. В диапазоне 20Гц - 20кГц получен акустический эквивалент входного шума 22.5дБ. Динамический диапазон микрофонов на 10дБ превышает обычный для такой техники предел 108дБ. Полное гармоническое искажение сигнала не превышает 0.3 и 1.6%, соответственно для звукового давления 80 и 100дБ.

    wpe11.jpg (13656 bytes)

    Рис. 3. Спектральный шум в 2х2мм2 дифференциальном микрофоне. Измерение и моделирование

    Очевидно, что размещение микрофона в соразмерном корпусе ~ 3.4мм3 обеспечит акустический эквивалент входного шума на уровне 23дБ при более широком динамическом диапазоне.

    1. Microelectronics J., 2002, 33, pp. 21-28
    2. Sensors and Actuators, 2002, A95, pp. 196-201

    ПЕРСТ

Выскажите свое мнение на:
<< 2271|2272|2273|2274|2275|2276|2277|2278|2279|2280 >>

НАУКА

Новости

Научный форум

Почему молчит Вселенная?

Парниковая катастрофа

Хронология и парахронология

История и астрономия

Альмагест

Наука и культура

2000-2002
Научно-популярный журнал Урания в русском переплете
(1999-200)

Космические новости

Энциклопедия космонавтика

Энциклопедия "Естествознание"

Журнальный зал

Физматлит

News of Russian Science and Technology

Научные семинары

НАУЧНЫЕ ОБОЗРЕНИЯ

"Физические явления на небесах"

"TERRA & Comp"

"Неизбежность странного микромира"

"Биология и жизнь"

ОБРАЗОВАНИЕ

Открытое письмо министру образования

Антиреформа

Соросовский образовательный журнал

Биология

Науки о Земле

Математика и Механика

Технология

Физика

Химия

Русская литература

Научная лаборатория школьников

КОНКУРСЫ

Лучшие молодые
ученые России

Для молодых биологов

БИБЛИОТЕКИ

Библиотека Хроноса

Научпоп

РАДИО

Читают и поют авторы РП

ОТДЫХ

Музеи

Игры

Песни русского застолья

Народное

Смешное

О НАС

Редколлегия

Авторам

О журнале

Как читать журнал

Пишут о нас

Тираж

РЕСУРСЫ

Поиск

Проекты

Посещаемость

Журналы

Русские писатели и поэты

Избранное

Библиотеки

Фотоархив

ИНТЕРНЕТ

Топ-лист "Русского переплета"

Баннерная сеть

Наши баннеры

НОВОСТИ

Все

Новости русской культуры

Новости науки

Космические новости

Афиша

The best of Russian Science and Technology

 

 


Если Вы хотите стать нашим корреспондентом напишите lipunov@sai.msu.ru

 

Редколлегия | О журнале | Авторам | Архив | Ссылки | Статистика | Дискуссия

Галерея "Новые Передвижники"
Пишите

© 1999, 2000 "Русский переплет"
Дизайн - Алексей Комаров

Русский Переплет
Rambler's Top100 TopList