Портал | Содержание | О нас | Пишите | Новости | Голосование | Топ-лист | Дискуссия Rambler's Top100

TopList Яндекс цитирования

НОВОСТИ
"РУССКОГО ПЕРЕПЛЕТА"

ЛИТЕРАТУРА

Новости русской культуры

Афиша

К читателю

Содержание

Публицистика

"Курск"

Кавказ

Балканы

Проза

Поэзия

Драматургия

Искания и размышления

Критика

Сомнения и споры

Новые книги

У нас в гостях

Издательство

Книжная лавка

Журнальный зал

ОБОЗРЕНИЯ

"Классики и современники"

"Слово о..."

"Тайная история творений"

"Книга писем"

"Кошачий ящик"

"Золотые прииски"

"Сердитые стрелы"

КУЛЬТУРА

Афиша

Новые передвжиники

Фотогалерея

Музыка

"Неизвестные" музеи

Риторика

Русские храмы и монастыри

Видеоархив

ФИЛОСОФИЯ

Современная русская мысль

Искания и размышления

ИСТОРИЯ

История России

История в МГУ

Слово о полку Игореве

Хронология и парахронология

Астрономия и Хронология

Альмагест

Запечатленная Россия

Сталиниана

ФОРУМЫ

Дискуссионный клуб

Научный форум

Форум "Русская идея"

Форум "Курск"

Исторический форум

Детский форум

КЛУБЫ

Пятничные вечера

Клуб любителей творчества Достоевского

Клуб любителей творчества Гайто Газданова

Энциклопедия Андрея Платонова

Мастерская перевода

КОНКУРСЫ

За вклад в русскую культуру публикациями в Интернете

Литературный конкурс

Читательский конкурс

Илья-Премия

ДЕТЯМ

Электронные пампасы

Фантастика

Форум

АРХИВ

Текущий

2003

2002

2001

2000

1999

Фотоархив

Все фотоматериалы


Новости
"Русский переплет" зарегистрирован как СМИ. Свидетельство о регистрации в Министерстве печати РФ: Эл. #77-4362 от
5 февраля 2001 года. При полном или частичном использовании
материалов ссылка на www.pereplet.ru обязательна.

Тип запроса: "И" "Или"

18.05.2002
14:41

Надежда Горлова "Вано, Сосо и убитые"

18.05.2002
14:17

Создается латиноамериканское космическое агентство

18.05.2002
14:16

На МКС восстановлена работа электролизной установки "Электрон"

18.05.2002
13:52

Изборано руководство Аэрокосмического общества Украины

18.05.2002
13:51

Кадровые изменения в Росавиакосмосе

18.05.2002
13:50

По предварительным данным авария на Байконуре произошла из-за перегрузки крыши

18.05.2002
13:49

Магомед Толбоев готовится к прыжку из стратосферы

18.05.2002
13:48

Рынок спутников связи прекратит свое падение к 2005 году

18.05.2002
13:47

До конца 2002 года в России планируется запустить более 30 спутников

18.05.2002
13:46

Геостационарную орбиту желательно "разгрузить"

18.05.2002
13:45

В очередь на полет в космос встанут учителя

18.05.2002
13:44

Лэнс Басс сделал операцию и возвращается в Москву

18.05.2002
01:46

Частотный преобразователь для управления 3-фазным двигателем

18.05.2002
00:40

Космический календарь. 18 мая

18.05.2002
00:40

Расшифрован геном еще одного микроба

17.05.2002
18:05

Chandra исследует сталкивающиеся галактики

17.05.2002
17:59

Остановимся на одном атоме

17.05.2002
17:54

SQUID фотосканирование для контроля Si подложек и дефектов СБИС

    Совершенствуется техника неразрушающего контроля дефектов в Si подложках и интегральных схемах с помощью сквидов. На смену сквид-микроскопии пришла лазерная сквид-микроскопия, позволившая значительно расширить площадь сканирования и чувствительность метода, а также использовать его на производственной линейке в процессе изготовления микросхем. Но главным преимуществом нового метода является возможность контролировать микросхемы без подключения к ним питания, что являлось общим недостатком всех предыдущих методов.

    Основная идея - обнаружение слабых магнитных полей, генерируемых фототоком, индуцированным лазерным лучом. Подложка сканируется лазерным лучом, наведенный фототок генерирует магнитное поле, регистрируемое сквидом.


    Используя систему "лазер-сквид", сотрудники японской фирмы NEC Corp. продемонстрировали изображение p-n перехода с пространственным разрешением 1.3мкм, что в 40 раз лучше, чем при использовании "просто" сквид-микроскопии [1].

    Принцип работы системы "лазер-сквид" показан на рисунке (рис. 1). Переходные токи быстро затухают и сквид на постоянном токе "не успевает" их обнаружить (время отклика ПТ сквида ~1мкс). Однако, он обнаруживает постоянно текущие токи в замкнутых цепях. Существует два механизма наведения тока лазерным лучом - OBIC (optical beam induced current) эффект и эффект Зеебека. Метод ф. NEC ориентирован на регистрацию токов, возникающих благодаря OBIC эффекту. Обнаруживались короткие замыкания в схемах и большие сопротивления, связанные с дефектными p-n переходами. Кристалл со сквидом (охлаждаемым до 77К), держатель образца и объектная линза помещены в магнитно экранированный объем и установлены в вакуумной камере. Специальным приспособлением образец можно устанавливать и заменять без нарушения вакуума. Сканирование осуществляется пьезо-сканнером (100х100мкм2) или степпером (7х7мм2). Расстояние между сквидом и образцом - до 100мкм. Луч лазера направляется с противоположной стороны образца (использовались лазеры с ? = 488нм и 1064нм для подложек различной толщины).


    Сквид изготовлен из ВТСП
    HoBa2Cu 3O7-x пленки, осажденной на SrTiO3 подложку толщиной 1мм. Два джозефсоновских перехода изготовлены на торце пленки. Эффективная площадь захвата магнитного поля - 0.2мм2. Активная чувствительность сквида - 30-60х10-6 f0 /Гц1/2 при 8.3кГц.

    Одна из тестируемых структур - Ti-Si/polySi. Подзатворный окисел был закорочен электростатическим разрядом, что сделало возможным регистрацию OBIC эффекта, потому что закоротка привела к появлению тока в цепи Ti-Si/polySi к Si подложке через p-n переходы (рис. 2 в заголовке новости). Максимальный магнитный поток, зарегистрированный сквидом, составил 5х10-3f0/Гц1/2, на два порядка выше чувствительности сквида. Также были зарегистрированы дефекты, возникающие при пайке микросхемы на плату.

    Аналогичная аппаратура используется в совместной разработке Физико-технического института (Брауншвайг, Германия) и Института роста кристаллов (Берлин) для контроля однородности легирования кремниевых монокристаллов и контроля дефектов в фотовольтаических приборах. В эксперименте использовали лазер с выходной мощностью - 5мкВт, многопетлевой НТСП сквид постоянного тока или ВТСП сквид, изготовленный на бикристаллической подложке. Чувствительность сквида в области белого шума - 8фТл/Гц1/2и 38фТл/Гц1/2 , а расстояние между датчиком и образцом - 8мм и 2мм для НТСП и ВТСП сквидов соответственно. Магнитометр обнаруживал компоненту магнитного поля, параллельную поверхности образца.

    Исследованы кремниевые пластины диаметром 7.5мм, хотя при некоторой модификации конструкции будет возможно исследовать и пластины диаметром до 150мм. Проведено также тестирование электрически активных границ зерен в кремниевых пластинах для солнечных батарей, а также выявлены области с уменьшенной квантовой эффективностью в солнечных батареях.

    1. IEICE Trans. Electron., 2002, E85-C, No 3, p.746

    2. IEICE Trans. Electron., 2002, E85-C, No 3, p.665


    3. Перст - перспективные технологии, нанотрубки, полупроводники, фуллерены

Выскажите свое мнение на:

17.05.2002
15:20

Звездный встречает космонавтов

17.05.2002
15:16

У Юритера открыты 11 новых спутников

<< 1991|1992|1993|1994|1995|1996|1997|1998|1999|2000 >>

НАУКА

Новости

Научный форум

Почему молчит Вселенная?

Парниковая катастрофа

Хронология и парахронология

История и астрономия

Альмагест

Наука и культура

2000-2002
Научно-популярный журнал Урания в русском переплете
(1999-200)

Космические новости

Энциклопедия космонавтика

Энциклопедия "Естествознание"

Журнальный зал

Физматлит

News of Russian Science and Technology

Научные семинары

НАУЧНЫЕ ОБОЗРЕНИЯ

"Физические явления на небесах"

"TERRA & Comp"

"Неизбежность странного микромира"

"Биология и жизнь"

ОБРАЗОВАНИЕ

Открытое письмо министру образования

Антиреформа

Соросовский образовательный журнал

Биология

Науки о Земле

Математика и Механика

Технология

Физика

Химия

Русская литература

Научная лаборатория школьников

КОНКУРСЫ

Лучшие молодые
ученые России

Для молодых биологов

БИБЛИОТЕКИ

Библиотека Хроноса

Научпоп

РАДИО

Читают и поют авторы РП

ОТДЫХ

Музеи

Игры

Песни русского застолья

Народное

Смешное

О НАС

Редколлегия

Авторам

О журнале

Как читать журнал

Пишут о нас

Тираж

РЕСУРСЫ

Поиск

Проекты

Посещаемость

Журналы

Русские писатели и поэты

Избранное

Библиотеки

Фотоархив

ИНТЕРНЕТ

Топ-лист "Русского переплета"

Баннерная сеть

Наши баннеры

НОВОСТИ

Все

Новости русской культуры

Новости науки

Космические новости

Афиша

The best of Russian Science and Technology

 

 


Если Вы хотите стать нашим корреспондентом напишите lipunov@sai.msu.ru

 

Редколлегия | О журнале | Авторам | Архив | Ссылки | Статистика | Дискуссия

Галерея "Новые Передвижники"
Пишите

© 1999, 2000 "Русский переплет"
Дизайн - Алексей Комаров

Русский Переплет
Rambler's Top100 TopList