СОЖ
Химия
Поверхностные явления
Виктор Григорьевич Лифшиц, доктор физико-математических наук, профессор, зав. кафедрой физики и технологии материалов полупроводниковой микроэлектроники Дальневосточного государственного университета, зав. отделом Института автоматики и процессов управления Дальневосточного отделения РАН. Область научных интересов: физика поверхности твердых тел. Автор более 150 научных статей и двух монографий.
Год:1997
Номер:2
Описаны условия формирования поверхностных фаз на кремнии в сверхвысоком вакууме. Обсуждается построение диаграмм различных поверхностных фаз. Статья содержит обзор данных об образовании двух- и трехкомпонентных поверхностных фаз на кремнии при процессах соадсорбции. Рассмотрены результаты изучения дельта-легирования, в котором дельта-легированные слои суть поверхностные фазы.
Текст статьи в формате PDF
