òÁÕÆ úÁÇÉÄÏ×ÉÞ âÁÈÔÉÚÉÎ, ÄÏËÔÏÒ ÆÉÚÉËÏ-ÍÁÔÅÍÁÔÉÞÅÓËÉÈ ÎÁÕË, ÐÒÏÆÅÓÓÏÒ, ÚÁ×. ËÁÆÅÄÒÏÊ ÆÉÚÉÞÅÓËÏÊ ÜÌÅËÔÒÏÎÉËÉ âÁÛËÉÒÓËÏÇÏ ÇÏÓÕÄÁÒÓÔ×ÅÎÎÏÇÏ ÕÎÉ×ÅÒÓÉÔÅÔÁ, ÞÌÅÎ ÒÅÄËÏÌÌÅÇÉÉ ÖÕÒÎÁÌÁ "Journal of Micromechanics and Microengineering". ïÂÌÁÓÔØ ÎÁÕÞÎÙÈ ÉÎÔÅÒÅÓÏ× - ÜÍÉÓÓÉÏÎÎÁÑ ÜÌÅËÔÒÏÎÉËÁ, ÆÉÚÉËÁ ÐÏ×ÅÒÈÎÏÓÔÉ Ô×ÅÒÄÙÈ ÔÅÌ. á×ÔÏÒ ÂÏÌÅÅ 230 ÎÁÕÞÎÙÈ ÓÔÁÔÅÊ É Ä×ÕÈ ÍÏÎÏÇÒÁÆÉÊ.
çÏÄ:2001
îÏÍÅÒ:3
ïÂÓÕÖÄÅÎÙ ÐÒÉÎÃÉÐÙ ÒÁÂÏÔÙ cÉÎÉÈ É ÚÅÌÅÎÙÈ Ó×ÅÔÏÄÉÏÄÏ× É ÌÁÚÅÒÎÙÈ ÄÉÏÄÏ× ÎÁ ÏÓÎÏ×Å ÎÉÔÒÉÄÏ× ÜÌÅÍÅÎÔÏ× ÇÒÕÐÐÙ III, ÉÓÔÏÒÉÑ ÉÈ ÓÏÚÄÁÎÉÑ É ÏÓÎÏ×ÎÙÅ ÔÒÕÄÎÏÓÔÉ, ËÏÔÏÒÙÅ ÐÒÉ ÜÔÏÍ ÎÅÏÂÈÏÄÉÍÏ ÂÙÌÏ ÐÒÅÏÄÏÌÅÔØ.
ôÅËÓÔ ÓÔÁÔØÉ × ÆÏÒÍÁÔÅ .pdf