òÁÕÆ úÁÇÉÄÏ×ÉÞ âÁÈÔÉÚÉÎ, ÄÏËÔÏÒ ÆÉÚÉËÏ-ÍÁÔÅÍÁÔÉÞÅÓËÉÈ ÎÁÕË, ÐÒÏÆÅÓÓÏÒ, ÚÁ×. ËÁÆÅÄÒÏÊ ÆÉÚÉÞÅÓËÏÊ ÜÌÅËÔÒÏÎÉËÉ âÁÛËÉÒÓËÏÇÏ ÇÏÓÕÄÁÒÓÔ×ÅÎÎÏÇÏ ÕÎÉ×ÅÒÓÉÔÅÔÁ, ÞÌÅÎ ÒÅÄËÏÌÌÅÇÉÉ ÖÕÒÎÁÌÁ "Journal of Micromechanics and Microengineering". ïÂÌÁÓÔØ ÎÁÕÞÎÙÈ ÉÎÔÅÒÅÓÏ× - ÜÍÉÓÓÉÏÎÎÁÑ ÜÌÅËÔÒÏÎÉËÁ, ÆÉÚÉËÁ ÐÏ×ÅÒÈÎÏÓÔÉ Ô×ÅÒÄÙÈ ÔÅÌ. á×ÔÏÒ ÂÏÌÅÅ 220 ÎÁÕÞÎÙÈ ÓÔÁÔÅÊ.
çÏÄ:2000
îÏÍÅÒ:11
ëÒÁÔËÏ ÏÐÉÓÁÎÙ ÉÓÔÏÒÉÑ ÓÏÚÄÁÎÉÑ ÓËÁÎÉÒÕÀÝÅÇÏ ÔÕÎÎÅÌØÎÏÇÏ ÍÉËÒÏÓËÏÐÁ (óôí), ÐÒÉÎÃÉÐ ÅÇÏ ÄÅÊÓÔ×ÉÑ É ÏÓÎÏ×ÎÙÅ ÔÒÕÄÎÏÓÔÉ, ËÏÔÏÒÙÅ ÎÅÏÂÈÏÄÉÍÏ ÂÙÌÏ ÐÒÅÏÄÏÌÅÔØ ÄÌÑ ÐÏÌÕÞÅÎÉÑ ÉÚÏÂÒÁÖÅÎÉÊ ÁÔÏÍÎÏÊ ÓÔÒÕËÔÕÒÙ ÐÏ×ÅÒÈÎÏÓÔÅÊ Ô×ÅÒÄÙÈ ÔÅÌ. ÷ÏÚÍÏÖÎÏÓÔÉ ÐÒÉÂÏÒÁ ÉÌÌÀÓÔÒÉÒÕÀÔÓÑ ÓÅÒÉÅÊ óôí-ÉÚÏÂÒÁÖÅÎÉÊ Ó ÁÔÏÍÎÙÍ ÒÁÚÒÅÛÅÎÉÅÍ.
ôÅËÓÔ ÓÔÁÔØÉ × ÆÏÒÍÁÔÅ .pdf